气体质量流量管束器与流量计工作原理
      流量传感器采纳毛细管传热温差量热法情理丈量气体的风致流量(无需温度与压力弥补)。将传感器加热电桥测得的流量旌旗灯号送入缩小器缩小，缩小后的流量丈量电压与设定电压进行比照，再将差值旌旗灯号缩小后去管束调理阀，经由过程闭环管教来管束经由过程的流量，并使之与设定的流量至关。分流器决定主通道的流量。左图为MFC与流量浮现仪连接后的工作情理图：
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      控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体品质成反比。满量程检测输入电压为5VDC。气体质量流量管教器的检测畛域为2~100%满刻度（量程比为50：1），流量辨别率为0.1%满刻度。
当心: 气体品质流量控制器的"阀控"线置于"清洗"位时也可以当成气体品质流量计应用。这时，流量检测输入电压的输入值大要达到10VDC以上。紧要留心的是，一旦输入电压跨越5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量闪现是不许确的，况且还可以或许泛起流量增大、显现减小的情景，但这些不会损不好品格流量牵制器。http://pressuretransmitter.cn